나노미터 단위의 정밀성과 클린룸 환경에 대한 높은 신뢰성을 요구하는 반도체 제조 공정을 위한
웨이퍼 이송, 정밀 위치 제어, 공정 자동화를 지원하는 정밀 측정 솔루션 및 모션 제어 솔루션을 제공합니다.
반도체산업
(주)다온오토메이션은,
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핵심제품 및 기술
- 반도체 제조 공정은 정밀도와 공정 안정성이 극도로 중요한 첨단 산업 분야입니다.
- 당사는 Confocal Sensor를 이용하여 웨이퍼 표면 검사, TGV 전수 검사, 웨이퍼 WarPage, 등을 비접촉 방식으로 고속·고정밀 측정할 수 있는 솔루션을 제공합니다.
- 라인 스캔형 센서를 활용한 고속 인라인 검사와 정밀 스테이지 제어 기술을 통해 미세한 결함까지 검출 가능하며, 이를 통해 생산 공정의 품질과 효율성을 동시에 향상시킵니다.
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적용효과
- Confocal Sensor를 이용한 반도체 검사는 공정의 정밀도, 반복성, 공정 수율을 근본적으로 향상시킵니다.
- 디펙 검사, TGV 검사, 웨이퍼 WarPage 등을 실시간으로 검출하여 공정 장비의 자동 보정 제어를 지원합니다.
- 이를 통해 공정 안정성 확보, 불량률 최소화, 장비 가동률 극대화를 실현하며, 나노 수준 정밀도를 요구하는 첨단 반도체 생산라인의 품질 표준화에 기여합니다.
어플리케이션
웨어퍼검사
웨이퍼는 미세 패턴과 평탄도가 매우 중요한 부품으로, 이를 빠르고 정확하게 측정하는 것이 필수적입니다. MARPOSS Stil 포인트 컨포컬 센서는 서브마이크론 수준의 정밀도로 특정 국소 부위의 미세 높이와 스텝을 정확하게 측정하며, 국부적인 표면 결함 탐지 및 공정 변수 제어에 필요한 정밀 데신속한 품질 모니터링과 이상 감지가 가능하며, 대량 생산 환경에 최적화된 검사 솔루션을 제공합니다.